Kiểm soát bụi cho chất bán dẫn

Xử lý bụi mài wafer

Máy hút bụi khối lượng lớn được phát triển theo yêu cầu về khí thải môi trường, chủ yếu được sử dụng trong thiết bị đánh bóng wafer trong ngành bán dẫn để xử lý lượng lớn bột silicon dễ cháy và nổ được tạo ra trong quá trình nghiền wafer.

Giải pháp

Thiết bị VW-150wafer Fab chủ yếu kết hợp loại bỏ bụi lốc xoáy với loại bỏ bụi phun, để bột silicon được giữ lại hoàn toàn bởi sương nước phun ra từ vòi phun áp suất cao để tạo thành hỗn hợp bụi-nước, được lắng đọng trong thùng thu gom do trọng lực và thải ra ngoài qua cổng tràn để hoàn tất quá trình loại bỏ bụi.