Kiểm soát bụi cho chất bán dẫn

Loại bỏ bụi khay wafer

Khay wafer là một thiết bị cơ khí được lắp đặt trong mô-đun giao diện người dùng, chịu trách nhiệm nhận hộp wafer do thiết bị xử lý wafer cung cấp. Nó thường được sử dụng cùng với cổng tải như một cổng tương tác giữa thiết bị bán dẫn và dây chuyền sản xuất.

Trong xưởng sản xuất, FOUP được đặt trên cổng tải. Do yêu cầu chất lượng không khí cao (ISO cấp 5) nên phòng sạch và hệ thống xử lý phải được vệ sinh thường xuyên. Mục đích là để tránh ô nhiễm chéo trên tấm bán dẫn silicon và cuối cùng là loại bỏ các khuyết tật trên chip.

Giải pháp

Do quy trình sản xuất các tấm wafer khác nhau cực kỳ phức tạp và phức tạp nên mức độ loại bỏ bụi của mỗi quy trình là rất cao. Thiết bị loại bỏ bụi phải có đặc tính không tiếp xúc, làm sạch nhanh, loại bỏ nhanh vật lạ và lắp đặt dễ dàng.