Trong sản xuất chất bán dẫn, việc thu gom bụi là rất quan trọng để duy trì chất lượng sản phẩm và ngăn ngừa ô nhiễm. Các quy trình chính như lắng đọng hơi hóa học (CVD), khắc axit và đánh bóng tạo ra các hạt mịn có thể làm suy giảm chức năng của vi mạch. Các biện pháp kiểm soát chặt chẽ là cần thiết để tránh khuyết tật và đảm bảo môi trường phòng sạch.
English
Français
Deutsch
Indonesia
日本語
한국어
แบบไทย
Tiếng Việt